等離子清洗機(jī)的清洗分類，作為技術(shù)類的文章我們請(qǐng)到了金伯利萊等離子清洗機(jī)專家王老師，給網(wǎng)友們分享清洗的分類，小編現(xiàn)在總結(jié)下來分享到網(wǎng)站上，希望能幫助大家對(duì)等離子清洗機(jī)的清洗分類有一定了解！

　清洗反應(yīng)類型分類

　　等離子體與固體表面發(fā)生反應(yīng)可以分為物理反應(yīng)(離子轟擊)和化學(xué)反應(yīng)。物理反應(yīng)機(jī)制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面最終被真空泵吸走;化學(xué)反應(yīng)機(jī)制是各種活性的粒子和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)。

（1）物理反應(yīng)

　　以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕(SPE)或離子銑(IM)，其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，清潔表面不會(huì)留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性，腐蝕作用各向異性;缺點(diǎn)就是對(duì)表面產(chǎn)生了很大的損害，會(huì)產(chǎn)生很大的熱效應(yīng)，對(duì)被清洗表面的各種不同物質(zhì)選擇性差，腐蝕速度較低。

（2）化學(xué)反應(yīng)

以化學(xué)反應(yīng)為主的等離子體清洗的優(yōu)點(diǎn)是清洗速度較高、選擇性好、對(duì)清除有機(jī)污染物比較有效，缺點(diǎn)是會(huì)在表面產(chǎn)生氧化物。和物理反應(yīng)相比較，化學(xué)反應(yīng)的缺點(diǎn)不易克服。并且兩種反應(yīng)機(jī)制對(duì)表面微觀形貌造成的影響有顯著不同。

物理反應(yīng)能夠使表面在分子級(jí)范圍內(nèi)變得更加“粗糙”，從而改變表面的粘接特性。還有一種等離子體清洗是表面反應(yīng)機(jī)制中物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都起重要作用，即反應(yīng)離子腐蝕或反應(yīng)離子束腐蝕，兩種清洗可以互相促進(jìn)，離子轟擊使被清洗表面產(chǎn)生損傷削弱其化學(xué)鍵或者形成原子態(tài)，容易吸收反應(yīng)劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產(chǎn)生反應(yīng);其效果是既有較好的選擇性、清洗率、均勻性，又有較好的方向性。

　　等離子清洗機(jī)的清洗分類，在物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)想比較下，都有自己的優(yōu)勢(shì)和劣勢(shì)，但是他們運(yùn)用的行業(yè)也是有差異的，但是一般物理清洗采用是氬氣等離子體清洗，氬氣本身是惰性氣體，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng)。化學(xué)清洗一般采用氧氣等離子體清洗，讓物體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發(fā)物，從而去除表面的污染物。從而來達(dá)到清洗目的！